● 0.08~5μm(0.08μm保証)ライン&スペースウエハの製作(200/300mm)● 0.1~5μm(0.1μm保証)ホールパターンウエハの製作(200/300mm)● 0.25~5μm(0.3μm保証)ホールパターンウエハ上にバリア層/Cuめっき膜製作(200/300mm)● シャロートレンチアイソレーションCMP評価用ウエハの製作● 層間絶縁膜 CMP評価用ウエハの製作● 各種金属膜(スパッタ)の堆積● Cuメッキ膜の堆積
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