ウエハ加工-MEMS

マイクロメーターサイズの機械要素部品、センサー、アクチュエーター、電子回路、コントローラーを集積した微小電気機械システムの総称。
半導体プロセスを応用したマイクロマシニング技術により製造される。
二次元形状の形成には主として従来の半導体製造プロセスが用いられるが、三次元形状は犠牲層エッチングや自己形成などの手法が用いられる。
インクジェットプリンターのヘッド、DMDプロジェクター、圧力センサー、加速度センサー、RFコンポーネントなどが実用化されており、自動車、航空機、バイオ、医療、情報通信、ロボットなど広い分野への応用がはじまっている。

 

 

くし歯パター ン

mems_01

0.6umパ ターンmems_0.6

1.0umパ ターンmems_1.0

3.0umパ ターンmems_3.0