ウエハ加工-成膜

 

GNCの加工ファンドリー Foundry of GNC

成膜 Films
熱酸化、CVD(常圧、減圧、プラズマ、CAT、ALD) PVD(スパッタ―、イオンプレーティング、蒸着)、スピンコート、ディップコート、めっき

Thermal Oxidation、CVD(Atmosphere、Low Pressure、CAT、ALD)   PVD(Sputter、lon Plating、Evaporation)、Spin coat、Dip Coat、Electro Plating


 

リソグラフィー Lithography
EB、X線、液浸、ArF、KrF、i線、G線、アライナー

EB、X-ray、Immersion、Arf、i line、g line、Aligner


 

エッチング Etching

RIE、深堀、WET、ミリング

RIE、Deep RIE、Wet、Milling、Sand Blast、Laser


 

その他 Others
洗浄、ダイシング、貼りあわせ、CMP、研磨・研削、レーザ加工、サンドブラスト、バンプ形成、WCSP、等

Cleaning、Wafer Bonding、Polish、Grind、Bump、WCSP、Down Sizing


 

 

foundry of gnc

 

 

成膜ファンドリー Film Service
 
絶縁膜 Insulator
SiO2、SiN、PSG、BPSG、P-TEOS、HDP-SiO2、オゾンTEOS、SiON、SiOC、MSQ、HSQ、BN、CoralTM、BLACK DiamondTM、PZT、HfO2、HfSiON、TiO2、Ta2O5、ZnO2、Al2O3、Fe2O3、MgO、Mn2O3 etc.
半導体 Semiconductor
Poly-Si、a-Si、SiC、a-SiC、a-C、etc.
導電膜 Conductive
AI、AI-Si、AI-Cu、AI-Si-Cu、Au、Pt、Cu、Cr、Ti、Ta、Mo、W、Pd、TiN、TaN、ZrN、Cr2N、AIN、TiC、WC、ITO、SnO2、ZnO、Ru、Ag-Pd、Co、Mn、 etc
メッキ膜 Plating Film
Cu、Ni、Ti、Au、Pt、 etc.

   

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