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ウエハ加工-パターンウエハ／TSV評価用ウエハ

 TSVのＣｕパターンウエハからＳｉボンディングウエハ、バックグラインディングに対応したウエハの提供が可能です。

GNCのTSV評価用ウエハ
TSV-120 TSV-2201 TSV-140 TSV-320
ウエハサイズ φ200mm φ200mm φ200mm φ300mm
Via(μm) 5,10,15,20,50,100 5,10,15,20 30,50,80 5,10,15,20
ピッチ 1:1 , 1:2 , 1:3 1:2 , 1:3 , 1:2 (P) 1:1 , 1:2 , 1:3 1:2 , 1:3 , 1:2 (P)
チップサイズ 12mm×15mm 19.8mm×20mm 10mm×10mm 19.8mm×20mm
チップ数（個） 144 52 256 148
製作枚数 1枚から 1枚から 1枚から 1枚から