基板

対応基板
  • シリコンウエハ
  • 石英ガラス
  • サファイア
  • SiC
  • SUS
  • 樹脂、等

Si-Wafer,Quartz,Sapphire,SUS,Resin,etc

   

   

基板サイズ

(Sample Size)

φ2~φ12インチ以上  (基板も対応可能)

~φ300mm ( including square substrates )