| 対応基板 |
Si-Wafer,Quartz,Sapphire,SUS,Resin,etc |
||
|
|
|
||
|
基板サイズ (Sample Size) |
φ2~φ12インチ以上 (□基板も対応可能) ~φ300mm ( including square substrates ) |
||
|
|
|
| 対応基板 |
Si-Wafer,Quartz,Sapphire,SUS,Resin,etc |
||
|
|
|
||
|
基板サイズ (Sample Size) |
φ2~φ12インチ以上 (□基板も対応可能) ~φ300mm ( including square substrates ) |
||
|
|
|