【グローバルネット株式会社】半導体-ウエハ加工-MEMS

CMP関連装置/消耗材市場分析レポート2007

●Ａ4版●300ページ

□書籍 定価￥189,000円（税込）

2007年4月30日発刊！！

●CMP関連製品とメーカの状況を明確化
●CMP装置/ポストCMP洗浄装置/CMPスラリー/CMP用パッド/CMP用コンディショナー/スラリー供給装置/CMP用検査装置の市場と将来動向を徹底的に分析
●世界、日A本、米国、韓国、台湾、欧州、中国、その他アジアのそれぞれの地域別動向を調査
あらゆる半導体製造装置および試験/検査装置の企業シェアが地域別に分かる。

 

 

CMP用語辞典(英語版）

2004年11月30日発刊
CMPに関する全ての業種の方々に必須の326用語を厳選し、わかりやすく解説！出版／制作：グローバルネット社

   

CMP用語事典

【編者】精密工学会　プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会
【監修者】土肥俊郎（九州大学）、木下正治（ニッタ・ハース株式会社）
【発行】株式会社オーム社

●Ｂ6版●272ページ

 □書籍 定価￥3,990円（税込・送料別途）

●加工技術・装置、洗浄・清浄化技術、計測・評価技術、デバイス化などの各分野について、半導体CMP技術・工程に関連する重要用語約450語を図表・データを用いてわかりやすく解説！
●現場実務に必要なデータや関連する単位、CMP装置の年表や、関連学協会機関一覧等の便利な情報を付録に一挙掲載！・・・

CMP技術大系

●Ｂ5版変型　●約800ページ

 □書籍 定価￥75,600円（税込）

【監修】土肥俊郎（埼玉大学教授／理化学研究所客員研究員）、木下正治（ニッタ・ハース／韓国釜山大学校客員教授）、精密工学会　プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会
【編集幹事】檜山浩國（荏原総合研究所）
【編集顧問】松永正久（東大名誉教授）
【編集委員】木村景一（九州工業大学）、近藤誠一（半導体先端テクノロジーズ）、宮嶋基守（富士通）、加賀隆生（日産化学工業）、森永　均（東北大学）、潮　嘉次郎（ニコン）、泉　宏比呂（Chartered Semiconductor Japan）