Home SCREEN、FOPLP対応の直描露光

SCREEN、FOPLP対応の直描露光装置を発表

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●SCREENセミコンダクターソリューションズは6月5日、FOPLP向けの直描露光装置「DW-6000」を発表した。6月7日〜9日まで開催された「JPCA show 2017」を皮切りに、販売が開始されている。
  
●同装置は、高出力の355nmYAGレーザーと4台の描画ヘッドの組み合わせにより、最小線幅5μmの解像度で1時間当たり70枚というスループットを実現した。
   
●また、独自のiGLV光学エンジンとレーザー制御技術の融合により、解像力2μmの超高精度露光や、Fan-Out化で課題となる半導体チップ再配置時の位置ズレに対し、露光データを自動的に補正する画像自動補正機能など、従来装置の機能も継承している。
  
(画像はSCREENセミコンダクターソリューションズ プレスリリースより)
   
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最終更新 2017年 6月 19日(月曜日) 09:49